cascade探针台介绍：产品简洁及参数分享

2023-12-24 11:55:30来源：191FUN排行网作者：佚名

这是一台来自美国的cascade探针台设备，Cascade Microtech 的 EP6测量平台是一款结构简单、高精确度、多功能、及高性价比的150mm基准的探针台，解决了一系列的测量难题。该探针台采用了一种模块化设计，提供了众多的配置可能性，旨在满足诸如单切晶片至 150mm 晶圆、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。

cascade探针台介绍

详细介绍

技术参数：

基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面积 Z轴可移动范围

标准平台 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm

多功能平台 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2

X-Y-θ平台 XY范围 zui小步长 θ范围 晶圆范围

真空运行平台 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm

标准平台 155mm x 155mm 2μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 250mm

快速运行平台 155mm x 155mm 1μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 275mm

DUT支架 卡盘 基底 平整度 三轴接头 绝缘层 附加卡盘

150mm卡盘 150mm真空卡盘 晶圆，陶瓷 <10μm Yes >100GΩ 2个独立的卡盘，且还有一个附加卡盘

PCB 150mm宽支架 PCB，移动装置 NA NA NA NA

显微镜支架 移动范围(XY) Z方向 zui小步长

臂式支架 >150mm x 150mm NA NA

LAHS显微镜支架 150mm x 150mm 可选，zui大为100mm 2μm

主要特点：

1. 结构简单、多功能;

2. 平台配置可满足DC、RF和亚微米测量;

3. *的模块化设计可根据客户的需要配置和升级;

4. 量程大、可配探针配件;

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